OTF-1200X-VT-USPA是一款帶超聲霧化以及進(jìn)料系統(tǒng)的雙溫區(qū)立式管式爐，其爐管直徑可制作為100mm。它可以將氣體或者溶液霧化后噴入加熱爐管中，因此也可以用來制備PVD、CSS或CVD涂層。采用PID方式進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)，可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度為+/- 1 ℃。爐體下端安裝有一移動架以方便移動。
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品名稱
帶超聲霧化以及進(jìn)料系統(tǒng)的1200℃立式爐-OTF-1200X-VT-USPA
管式爐系統(tǒng)
雙溫區(qū)立式管式爐可用于加熱樣品。
容積式喂料器可將固態(tài)粉料不斷送入管式爐中進(jìn)行連續(xù)燒結(jié)或熱處理。
超聲霧化模塊可利用低振動能量將液體霧化，之后利用自重或低壓壓縮空氣噴入管式爐中。
立式管式爐 容積喂料器 超聲霧化模塊
工作功率
總功率6KW 每個溫區(qū)：3KW
工作電源
AC 208-240單相，50/60Hz
工作溫度
1200℃（<1hr）每個溫區(qū)
連續(xù)工作溫度
1100℃每個溫區(qū)
加熱速率
≤20℃/min
控溫精度
±1℃
爐管尺寸和材質(zhì)
包含一長度為1000mm的石英管。
OD：100mm，ID：95mm。
氧化鋁管堵可懸掛在頂部法蘭處避免熱輻射。
爐管升級：如客戶另付費(fèi)用，可用莫來石管（60mm-100mm）代替石英管，管式爐的使用溫度可升至1250℃
加熱區(qū)長度
200mm（溫區(qū)1）
200mm（溫區(qū)2）
總加熱長度：400mm
恒溫區(qū)長度
300mm（兩溫區(qū)設(shè)置同樣溫度）
溫控系統(tǒng)
采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，可設(shè)置30段升降溫程序。
具有超溫及斷偶報警功能。
通信端口：RS485。
可安裝PC控制軟件對數(shù)據(jù)進(jìn)行實時采集。
真空密封法蘭
爐管兩端裝有不銹鋼密封法蘭，真空計和閥門。
氣體出氣口與KF25D相連接。
氣體進(jìn)氣口與6.35軟管相連接。
上端密封法蘭內(nèi)部焊有不銹鋼勾，用于客戶懸掛樣品。
如想增加抽氣速率以便獲得較高的真空，建議您將標(biāo)配的軟管接頭更換成KF25轉(zhuǎn)接頭（如左圖）。
如需要子啊惰性或還原性氣體條件下使用，建議您將標(biāo)配的軟管接頭更換成VCR雙卡套接頭（如左圖）。
真空度
10E-2 torr（用機(jī)械泵）
10E-5 torr（用分子泵）
漏氣率<5 mTorr/min
加熱元件
1300℃摻鉬鐵鉻鋁
設(shè)備尺寸
550 L×380 W×520 H mm（不含移動架）
600 L×600 W×1200 H mm（包含移動架）
凈重
約80kg（不含移動架）
運(yùn)輸尺寸
48”（L）×40”（W）×72”（H）
質(zhì)保期
一年質(zhì)保期，終生維護(hù)（相關(guān)耗材除外，如爐管加熱元件密封圈易耗件）
質(zhì)量認(rèn)證
CE認(rèn)證。
所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA認(rèn)證。
若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證
應(yīng)用注意事項（為滿足客戶應(yīng)用要求，可另加費(fèi)用為您定制特殊法蘭）
客戶在使用前可能會校準(zhǔn)溫度來獲得準(zhǔn)確的爐內(nèi)溫度。
請點(diǎn)擊下圖來了解如何利用立式爐在真空或者氣氛環(huán)境下進(jìn)行樣品的淬火。
方法1：采用傳統(tǒng)的剪斷懸掛線的方式是的樣品自由落下（如圖1、2）
方法2：采用電磁釋放的方式使得樣品自由落下（如圖3、4）
圖1 圖2 圖3 圖4
可定制一樣品基座，將本系統(tǒng)升級為—HPCVD（混合物理化學(xué)氣沉積）爐（圖5）
可對尺寸小于1英寸的樣品進(jìn)行釬焊（在樣品上方加一載重）（圖6）
3溫區(qū)立式爐也可以用于該系統(tǒng)中（圖7）
圖5 圖6 圖7
警告
爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa；
由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa，使用時會更加精確安全；
當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)；
進(jìn)入爐管的氣壓流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊；
石英管的長時間使用溫度<1100℃；
對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）。
手機(jī)網(wǎng)站
關(guān)注微信
