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8英寸三溫區(qū)旋轉CVD管式爐系統(tǒng)-OTF-1250X-R8-III
  • 型號: OTF-1250X-R8-III
  • 產地: 合肥科晶
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產品詳情

        OTF-1250X-R8-III是一款8英寸三溫區(qū)回轉CVD管式爐系統(tǒng)。該設備是專為無機化合物的合成制備而設計,可以有效提高物料反應的均勻性,可選合金管材使工作溫度到達1250℃??蓮V泛應用于利用CVD法制備電池正負極材料的大規(guī)模生產。


技術參數(shù)

名稱

8英寸三溫區(qū)旋轉CVD管式爐系統(tǒng)-OTF-1250X-R8-III

管式爐結構


開啟式管式爐設計方便進行爐管的更換和維修。

加熱元件選用Sic棒。

三溫區(qū)加熱,總加熱長度1170mm。

爐膛材料選擇高純氧化鋁纖維,可以極大程度降低能耗。

爐管由直流電機驅動進行旋轉。

旅館旋轉速度:0-10rpm。

爐管可傾斜角度:0-15°可調。

工作電壓:AC 208-240V,三相(需一50A空氣開關)。

功率:30KW

產量:每批25Kg。


加熱區(qū)以及恒溫區(qū)

三個加熱區(qū),每個加熱區(qū)長度為380mm

總加熱區(qū)長度:1170mm。

兩個氧化鋁管堵與法蘭連接置于爐管兩端隨爐體移動,防止熱量以熱輻射的形式損失。

可選管材與其工作溫度

兩種管材可選進行訂購:

         高純石英管,工作溫度:1200

                 石英管尺寸:8.5 OD×8.1ID×63L

                 內部焊接有揚料板,使粉體燒結更加充分和均勻

         NiCrA1合金管,工作溫度:1250

                 合金管尺寸:8 OD×7ID×63L

 

密封法蘭(可選)

爐管包含一套密封法蘭,標準配置如下:

采用鉸鏈式法蘭(方便進行裝卸料)。

機械壓力表(范圍-0.1MPa~0.15MPa)。

不銹鋼針閥&1/4軟管接頭,KF25真空接頭以及1/4接頭。

旋轉接頭:采用動密封旋轉接頭,進氣口φ6mm,所有配件都為可旋轉配件。

真空度:10-2torr(用機械泵)。

 

注意:由于石英管和合金管外徑不同,故兩管法蘭不能互換使用。

溫度控制


采用PID方式調節(jié)溫度,可設置30段升降溫程序。

具有超溫及斷偶報警功能。

通信端口:RS485.

可安裝PC控制軟件對數(shù)據(jù)進行實時采集(需另購)

工作溫度

連續(xù)工作溫度:

        石英管:400~1100

         NiCrA1合金管:400~1250

加熱/冷卻速度:10/min

溫度精度:恒溫區(qū)±1

質保期

一年質保期,終生維護(不包括爐管、加熱元件和密封圈)

質量認證

CE認證

所有電器元件(>24V)都通過UL/MET/CSA認證

若客戶出認證費用,本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證

    

產品參數(shù)

產品重量:900Kg

產品尺寸:1600 L×800 W×1900 H mm

可選配件

微量氧分析儀(0-1000ppm

注意:氧分析儀需安裝在一側法蘭處并且保持氣體流動進行測試分析


警告

爐管內氣壓不可高于0.02MPa

由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司購買減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa使用時會更加精確安全。

當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態(tài)。爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài)。

進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。

石英管的長時間使用溫度<1100℃。

對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱的實驗,則需時刻關注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)。

應用注意事項

通過容積式給料器、法蘭處采用磁流體密封旋轉接頭可實現(xiàn)連續(xù)喂料。

采用該設備做CVD實驗時,可選購本公司的多路混氣系統(tǒng)進行氣體精確配比及流量控制。

  

免責聲明

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