GSL-1700X-III是一款CE認證的三溫區(qū)高溫管式爐,其爐管外徑為 60mm ,每個加熱區(qū)的長度為12" ,三個數字溫度控制器可獨立控制溫度,并可設置30段升降溫程序,溫區(qū)1(加熱區(qū)中心)采用Super-1800級的硅鉬棒進行加熱,當溫度達到 1700°C時,另外兩個溫區(qū)用硅碳棒進行加熱,當溫度在1400°C時,此款管式爐可以形成一個溫度梯度,調整三個溫區(qū)的溫度,在熱梯度下制備功能材料,他是一款理想的設備,同時也適用于CVD法制作薄膜外延生長。
技術參數
名稱
1700℃三溫區(qū)管式爐--GSL-1700X-III
爐體結構
采用雙層殼體結構,并帶有風冷系統,使表面溫度低于70℃。
內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命。
基本參數
熱偶:B型(溫區(qū)2)和S型(溫區(qū)1、3)熱偶。
工作溫度:
溫區(qū)一:長期1300℃ (1400℃<1h) 建議升溫速率:≤5℃/min。
溫區(qū)二:長期1600℃ (1700℃<1h) 建議升溫速率:5℃/min(T<1600℃);2℃/min(T>1600℃)
溫區(qū)三:長期1300℃ (1400℃<1h) 建議升溫速率:≤5℃/min
電源:三相AC380V,50Hz 10KW
加熱區(qū):加熱區(qū)長度:630(190mm+250mm+190mm)
爐管尺寸
材料:剛玉管。
Φ60×1200mm L
法蘭
1、法蘭上標配安裝的是φ8的寶塔嘴接頭
2、為了獲得較好的抽氣速率可以配用KF25的轉接頭。
3、為了較好的向爐管中通入氣體可以配用1/4”的不銹鋼卡套接頭
加熱元件
溫區(qū)一:4根U型Sic加熱棒(30×300mm)。
溫區(qū)二:6根U型MoSi2加熱棒 (30×300mm)。
溫區(qū)三:4根U型Sic加熱棒 (30×300mm)。
密封法蘭
一對SS 304真空法蘭與雙高溫硅O形環(huán)包括在內。
兩個針閥已分別安裝在兩個法蘭上(圖一)。
一個和怎空壓力表安裝在一側法蘭(圖一)。
可選:您可以選購KF25真空法蘭(圖二)。
可選:您可以訂購法蘭支架(圖三)。
溫控系統
包含一款YD518型溫度控制器。
PID自動控溫系統。
智能化30段可編程控制。
控溫精度:±℃。
三個溫區(qū)分別有三個獨立的溫控系統控制。
默認DB9 PC通信連接端口。
通過MET認證。
可選購電腦溫度控制軟件(用于YD518系列控制器)用于控制升溫曲線和導出數據。
溫度校準(可選)
定期對管式爐進行溫度校準,可保持溫度的準確性和均勻性。您可以在我公司購買一個簡單的校準工具包,輔助您完成這項工作,完整的校準套件包括。
48”L(1/4”OD)K型熱電偶校準。
一Omega溫度校準器。
熱電偶補償線。
你可以考慮分子泵,真空度可達10-5torr
外形尺寸
1600 L×500 W×700 H mm
凈重
約150Kg
質保期
一年保修,終身技術支持。
特別提示:1、耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。
2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍。
真空系統
通過機械泵可達到10E-2torr
通過分子泵可達到10E-5torr
可選購一個冷真空阱,以避免真空泵造成污染。
質量認證
所有電器元件(>24V)都通過UL/CSA/CE認證,若客戶出認證費用,本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證
使用注意事項
爐管內氣壓不可高于0.02MPa。
由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司購買減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa使用時會更加精確安全。
當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態(tài)。爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài)。
進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。
剛玉管的長時間使用溫度<1100℃。
對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱的實驗,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)。
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