GSL-1100X-III-8.5T是一款通過CE認(rèn)證并采用UL標(biāo)準(zhǔn)制造的一款三溫區(qū)管式爐。該管式爐配備有8.5英寸的石英管和水冷法蘭，一塊觸摸屏控制溫度和真空度，操作簡潔方便。工作溫度1150℃，真空度可以達(dá)到10-5 torr。該管式爐是一款理想的做退火，擴(kuò)散和CVD等的實(shí)驗(yàn)設(shè)備。
技術(shù)參數(shù)
名稱
GSL-1100X-III-8.5T
爐體結(jié)構(gòu)
采用雙層殼體風(fēng)冷系統(tǒng)，工作時(shí)使得殼體表面溫度<60℃。
采用高純度氧化鋁作為爐膛材料，保溫性能極佳，較大限度減少熱量損失。
通過觸摸屏控制工作溫度，真空度，水冷機(jī)組。
在爐子底部安裝有水冷和高真空機(jī)組。
采用鉸鏈?zhǔn)剿浞ㄌm，操作方便簡潔。
石英管尺寸
采用高純度石英管。
尺寸：216 O.D×206 I.D×1300 L mm（8.5” O.D×8.1” I.D×51” L）。
警告：石英管是易碎品，請(qǐng)妥善保管。人為損壞不在保修范圍內(nèi)。
標(biāo)準(zhǔn)兩塊氧化鋁纖維管堵，用于阻擋管內(nèi)的熱輻射（加熱爐在工作時(shí)必須放入管堵）。
可選石英管堵，提高潔凈度及真空度。
加熱區(qū)
總加熱區(qū)長度：900mm（36”）。
三個(gè)加熱區(qū)：330mm+330mm+330mm（12” 每個(gè)加熱區(qū)）。
恒溫區(qū)長度：750mm（三個(gè)溫區(qū)可設(shè)置相同的溫度，誤差為±2℃）。
注：由于測(cè)量手段及外部環(huán)境的影響，測(cè)量結(jié)果可能會(huì)有偏差，此參數(shù)經(jīng)供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購買產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù)，請(qǐng)與我公司銷售人員聯(lián)系。
工作溫度
工作溫度：1150℃。
連續(xù)工作：200~1100℃
加熱/冷卻速率：10℃/min。
溫度分布圖
溫度控制
配備一款觸摸屏控制溫度。
三個(gè)加熱區(qū)分別設(shè)置30段升降溫程序。
控溫精度：±1℃。
每個(gè)溫區(qū)都配備一個(gè)K型Omega原裝熱電偶。
真空泵系統(tǒng)
在爐子下配備了一個(gè)數(shù)字分子泵系統(tǒng)。
真空度可達(dá)10-5torr。
真空泵由觸摸屏控制。
真空密封&法蘭
配備一對(duì)水冷密封法蘭（鉸鏈法蘭）。
左法蘭配備：真空計(jì)和觸摸屏控制的電磁閥（用于控制顱內(nèi)氣氛環(huán)境）。
右法蘭配備：KF40真空接口，用于連接真空泵接口上電磁閥。
法蘭外端配備一個(gè)外徑1/4”的熱電偶插口，用于方便進(jìn)行溫度校準(zhǔn)。
爐子底部配備有一個(gè)16L/min水冷機(jī)，用于水冷法蘭的供水。
可選
可以另配混氣系統(tǒng)用于CVD實(shí)驗(yàn)。
額定電壓
單相 AC 220V，50/60 Hz
包括AWG 8#電源線
功率
12KW（需50A空氣開關(guān)）
產(chǎn)品尺寸
1700 L×750 W×1800 H mm
凈重
250Kg
質(zhì)保期
一年質(zhì)保期，終生維護(hù)（不包含爐管，加熱元件和密封圈）
質(zhì)量認(rèn)證
CE認(rèn)證。
所有電器元件（輸入電源大于24V）都通過了UL/MET/CSA
使用注意事項(xiàng)
爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。
由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司購買減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa使用時(shí)會(huì)更加精確安全。
當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)。爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)。
進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊。
石英管的長時(shí)間使用溫度<1100℃。
對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）。
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