OTF-1100X-15-III是一款通過CE認(rèn)證的三溫區(qū)管式爐，采用15英寸石英爐管及不銹鋼密封法蘭（安裝有不銹鋼截止閥和機(jī)械壓力表）。爐體設(shè)計(jì)為電動開啟式。三個溫區(qū)獨(dú)立控制，可設(shè)置30段升降溫曲線，帶有超溫和短偶保護(hù)，控溫精度為+/-0.5 oC。此款設(shè)備廣泛應(yīng)用于各種材料在真空或氣氛保護(hù)環(huán)境下的熱處理。
技術(shù)參數(shù)
名稱
OTF-1100X-15-III
爐體結(jié)構(gòu)
雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，殼體表面溫度低于70℃。
采用氧化鋁纖維作為爐膛材料。
加熱元件：Sic棒。
設(shè)備中配有2個氧化鋁管堵，以保障爐膛內(nèi)部溫度均勻性（爐體加熱前，管堵必須放入爐管內(nèi)部）。
此管式爐可作為退火或擴(kuò)散管式爐（6英寸或8英寸晶片可用特殊使用支架裝載）。
電動開啟式設(shè)計(jì)，使得用戶操作更加簡便。
結(jié)構(gòu)圖 氧化鋁管堵 結(jié)晶裝載 電動開啟
加熱區(qū)
總加熱區(qū)長度：1000mm
三個加熱區(qū)：330mm+330mm+330mm（12” per zone）
工作溫度
工作溫度：1100℃。
加熱速率：10℃/min。
加熱元件：Sic棒（36根）
溫控系統(tǒng)
控溫精度為：±0.5℃
爐管
15英寸高純石英爐管：尺寸：400mm O.D×388mm I.D×1860mm L。
注意：石英爐管易碎，操作需謹(jǐn)慎。
真空密封&法蘭
一對不銹鋼真空密封法蘭（鉸鏈?zhǔn)剑?/span>4個硅膠密封圈，可是爐管真空度達(dá)到10∧-3torr（采用機(jī)械泵抽真空）。
左端法蘭：安裝有不銹鋼針閥，φ6.35的進(jìn)氣口。
右端法蘭：KF40真空泵接口φ6.35鎧裝接口（用于熱偶插入到爐管內(nèi)，測量爐管內(nèi)溫度和進(jìn)行溫度校準(zhǔn)）。
可選
此管式爐需定期校準(zhǔn)，以保證溫度的準(zhǔn)確性和均勻性，我們可提供簡單的校準(zhǔn)工具：
1根1200mm的K型鎧裝熱偶。
1個Omega溫度校準(zhǔn)儀表。
此型號管式爐只可選機(jī)械泵，且頂真空度只能夠抽到-0.05MPa，否則可能正常爐管損壞。
4”~8”晶片石英支架。
可與手套箱系統(tǒng)聯(lián)用，實(shí)現(xiàn)氧敏感性材料的燒結(jié)制備。
電壓
三相380V，50/60Hz
額定功率
20KW
產(chǎn)品尺寸
2300 L×1500 W×1400 H mm
凈重
300Kg
質(zhì)保期
一年質(zhì)保期，終生維護(hù)（不包含爐管，加熱元件和密封圈）
質(zhì)量認(rèn)證
CE認(rèn)證。
所有電器元件（輸入電源大于24V）都通過了UL/MET/CSA
免責(zé)聲明
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