OTF-1200X-5-III-D4 是一款三溫區(qū)的雙管爐，其工作溫度可以達到1200℃，專門針對于用CVD方法在金屬箔上生長薄膜物質(zhì)，如石墨烯、太陽能電池的電極材料和電池電極材料等。
技術(shù)參數(shù)
名稱
1200℃三溫區(qū)雙管開啟式管式爐--OTF-1200X-III-D5- 4
特征
石英爐管：外管直徑為130mm，內(nèi)管直徑為101mm，使用時金屬箔附在內(nèi)管壁上。
特殊的真空法蘭可以使用反應氣體通過兩管之間冷卻氣體可以從內(nèi)管通過，對基底進行快速冷卻。
工作溫度：1200℃
爐體結(jié)構(gòu)
三個加熱溫區(qū)總長：900mm（36”）。
溫區(qū)1：229mm（9”）。
溫區(qū)2：457mm（18.0”）。
溫區(qū)3：229mm（9”）。
恒溫區(qū)：625mm（三個溫區(qū)設(shè)置同樣的溫度）
注：由于測量手段及外部環(huán)境的影響，測量結(jié)果可能會有偏差，此參數(shù)經(jīng)供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標。您購買產(chǎn)品需要準確的恒溫器數(shù)據(jù)，請與我公司銷售人員聯(lián)系。
恒溫精度：±1℃。
三個溫區(qū)采用PID30段程序化獨立控制。
控溫精度：±1℃。
工作溫度：1200℃
連續(xù)使用溫度：1100℃
推薦升溫速率：<=20℃/min
爐膛
內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命。
電源
AC 208-240V 單相，50/60Hz（需要40A的空氣開關(guān)）。
功率：7KW
爐管
爐管為高純石英管。
外管尺寸：130mm O.D×122mm I.D×1480 mm。
內(nèi)管尺寸：102mm O.D×94mm I.D×1540 mm
爐體尺寸
1030×430×580 mm
凈重
90Kg
質(zhì)保期和質(zhì)量認證
一年質(zhì)保期（不包含爐管，加熱元件和密封圈損耗件）
CE Certified
國家專利
專利名稱：雙管式開啟燒結(jié)爐
專利編號：ZL-2011-2-0162232.9
使用注意事項
爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。
由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所有向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa，使用時會更加精確安全。
當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當。
進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。
石英管的長時間使用溫度<1100℃。
對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）
免責聲明
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