GSL-LCD是一款多路質(zhì)量流量計控制系統(tǒng)，其質(zhì)量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里，移動柜極大可以承重1000Lbs，所以在與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時，可將管式爐置于移動柜上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設(shè)定和狀態(tài)顯示都集中在一6"的觸摸屏上，同時可以實時查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。此款設(shè)備廣泛的用于材料界中CVD實驗和各種材料的退火實驗。
技術(shù)參數(shù)
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產(chǎn)品名稱 |
多通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)--GSL-LCD(控制面板為觸摸屏） |
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視頻 |
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功能 |
雙通道 |
三通道 |
四通道 |
五通道 |
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質(zhì)子流量控制器 |
工作溫度：5~45℃ 較大壓力：3×106Pa 精度：±1.5%FS 重復(fù)精度：±0.2%F.S. 流量范圍： 一路：1~199 SCCM 二路：1~499 SCCM 注意：其他流量范圍的可定制，需額外費用。 |
工作溫度：5~45℃ 較大壓力：3×106Pa 精度：±1.5%FS 重復(fù)精度：±0.2%F.S. 流量范圍： 一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~499 SCCM 注意：其他流量范圍的可定制，需額外費用。 |
工作溫度：5~45℃ 較大壓力：3×106Pa 精度：±1.5%FS 重復(fù)精度：±0.2%F.S. 流量范圍： 一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~199 SCCM 四路：1~499 SCCM 注意：其他流量范圍的可定制，需額外費用。 |
工作溫度：5~45℃ 較大壓力：3×106Pa 精度：±1.5%FS 重復(fù)精度：±0.2%F.S. 流量范圍： 一路：0~100 SCCM 二路：1~199 SCCM 三路：1~199 SCCM 四路：1~499 SCCM 五-九路可按照客戶要求定制。 |
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輸入電源 |
AC 220V/50Hz 單相 |
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功率 |
23W |
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PLC觸摸屏 |
各通道的氣路設(shè)定和查看都集中在—6”的觸摸屏上。 RS485通訊接口和PC控溫軟件可連接到電腦上，進(jìn)行遠(yuǎn)程控制。
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機械壓力表 |
有一機械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接。 量程：0.1~0.15MPa（0.01MPa/grid） |
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針閥 |
316不銹鋼 |
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通氣管道 |
內(nèi)部連接管道為1/4”不銹鋼管。 外部通氣管道為1/4”聚四氟管。
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混氣罐 |
Φ80×120 mm |
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截止閥及配件 |
316不銹鋼針閥。 Φ1/4”不銹鋼管 |
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外形尺寸 |
600L×745W×700H mm |
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質(zhì)量認(rèn)證 |
CE認(rèn)證 |
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質(zhì)保期 |
一年質(zhì)保期，終身維護。 |
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相關(guān)產(chǎn)品 |
CVD&PECVD 管式爐
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免責(zé)聲明 |
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