GSL-3F-PTFE是一款三通道防腐蝕型混氣系統(tǒng)，氣體通過的所有部分全部都是由聚四氟乙烯材料制作（閥、管道、混氣罐和浮子流量計），此款設(shè)備設(shè)計專門針對于需要通入腐蝕性氣體（如H2S、H2Se）的CVD實驗。
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品名稱
混氣系統(tǒng)3路浮子--GSL-3F
浮子流量計
三種不同量程的浮子流量計，控制精度4%。
A:10-100ml/min
B:16-160ml/min
C:25-250ml/min
針閥
三個有聚四氟乙烯材料制成的針閥，用來控制前面板上的氣體輸入、輸出。
混氣罐
一個1000ml的聚四氟乙烯罐安裝在殼體內(nèi)部。
每路氣體客通入混合罐中進行混氣。
接頭和氣管
聚四氟乙烯管，并可兼容1/4英寸管（尼龍或不銹鋼）
在混氣系統(tǒng)右側(cè)安裝三個氣體進口。
兩通道氣體流入氣體混合罐，另一個通道不通過氣體混合管。
兩個出口（可連接管式爐）安裝在混氣系統(tǒng)的左側(cè)（一路混合氣體和一路單獨的氣體）。
12”長1/4”直徑的聚四氟管及快插接頭。
真空針閥
采用SS304不銹鋼。
安裝在混氣系統(tǒng)的右側(cè)。
安裝帶剎車的轉(zhuǎn)向輪
外形尺寸:600L×600W×650H mm
可選
如果您的CVD實驗涉及腐蝕性氣體，如硫化氫，您可購買我公司聚四氟乙烯法蘭。
凈重
約75kg
質(zhì)保期
一年保修，終身技術(shù)支持。
特別提示：1、耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
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