GSL-2Z-LCD-S是一款小型的兩通道質(zhì)子流量計(jì)混氣系統(tǒng)，PLC觸摸屏控制各通道氣路流量，并可實(shí)時(shí)查看流量數(shù)據(jù)及曲線，可與本公司各種管式爐、CVD、PECVD、鍍膜儀等設(shè)備配套使用，實(shí)現(xiàn)PVD、CVD、PECVD以及熱處理等實(shí)驗(yàn)氣氛的精確控制。
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品名稱
小型二通道混氣系統(tǒng)（質(zhì)子流量計(jì)）GSL-2Z-LCD-S
基本參數(shù)
工作溫度：5~45℃。
壓力：0.3MPa。
精度：±1.5% FS
重復(fù)精度：±0.2% F.S。
流量范圍：
一路：1-99 SCCM
二路：1-199 SCCM（其他流量范圍可定制）
注意：其他流量范圍的可定制，需額外費(fèi)用。
輸入電源
AC 220V,50/60Hz
功率
100W
PLC觸摸屏
各通道的氣路設(shè)定和查看都集中在一觸摸屏上
混氣罐
內(nèi)置一個(gè)不銹鋼混氣罐，可以良好的混氣。
機(jī)械壓力表
有一機(jī)械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接。
量程：-.01~0.12MPa
針閥
316不銹鋼
通氣管道
內(nèi)部連接管道為1/4” 不銹鋼管。
外部通氣管為1/4”聚四氟管。
外形尺寸
360L×300D×190H mm
產(chǎn)品重量
8.4Kg
質(zhì)量認(rèn)證
CE認(rèn)證
質(zhì)保期
一年質(zhì)保期，終生維護(hù)。
相關(guān)產(chǎn)品
CVD&PECVD管式爐
免責(zé)聲明
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