此擋板閥屬于生產(chǎn)的儀器一般采用手動(dòng)真空擋板閥與真空系統(tǒng)相連接，主要起到真空泵防回油和CVD系統(tǒng)中控制抽氣速率等作用。手動(dòng)擋板閥具有安裝方便、操作安全可靠、使用壽命長(zhǎng)和密封效果好等特點(diǎn)。
手動(dòng)真空擋板閥的裝卸都采用卡箍，簡(jiǎn)單方便，可根據(jù)使用者需求任意擺放。
基本參數(shù)
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型號(hào) |
GD-J(25)B |
GD-J(40)B |
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壓力范圍 |
PA |
1*10-E-6Pa~1.2*10E-6Pa(波紋管密封) |
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公稱通徑 |
Mm |
25 |
40 |
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漏率 |
Pa.L/s |
≤1.3*10E-7 |
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首次維修循環(huán)次數(shù) |
次 |
1000 000（波紋管密封） |
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600 000（氟膠圈密封） |
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閥體烘烤溫度 |
℃ |
≤120℃ |
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開(kāi)啟或關(guān)閉時(shí)間 |
S |
手操時(shí)間 |
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閥門(mén)位置指數(shù) |
—— |
機(jī)械指示 |
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安裝位置 |
—— |
任意 |
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周圍環(huán)境溫度 |
℃ |
5~40 |
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注意事項(xiàng) |
不用時(shí)，請(qǐng)保持真空擋板閥清潔，并放在干燥室內(nèi)防止強(qiáng)烈震動(dòng)。 安裝前請(qǐng)將閥門(mén)和真空接觸的各個(gè)表面進(jìn)行清潔處理。 定期檢查，防止受潮、生銹和橡膠件老化。 |
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