OTF-1200X-5S是一款CE認(rèn)證的小型開啟式管式爐，其工作溫度可以達(dá)到1200℃。爐管Φ130mm(或100mm)的高純石英管。設(shè)備配有一對不銹鋼密封法蘭，可在真空或氣氛保護(hù)環(huán)境下對樣品進(jìn)行熱處理。對于控溫系統(tǒng)，可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度為+/- 1℃。此款管式爐至多可對4英寸的晶片進(jìn)行退火。
技術(shù)參數(shù)
名稱
1200℃小型單溫區(qū)大口徑開啟式管式爐--OTF-1200X-5S
產(chǎn)品提示
主要特點(diǎn)
5英寸的石英管和鉸鏈法蘭，寬大的腔體可作為箱式氣氛爐用（避免了箱式爐爐膛污染問題）。
可用于四英寸基片退火。
可以作為模塊，DIY ALD CVD PVD蒸發(fā)爐 回轉(zhuǎn)爐等（具體請致電）
采用高純氧化鋁纖維材料作為爐膛材料，并且表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率。
采用ABB電器元件。
基本參數(shù)
工作溫度：1100℃（<0.5小時）
連續(xù)工作溫度：1000℃
建議加熱速率：≤10℃/min
加熱區(qū)長度：300mm 加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金
功率：3KW
電壓：AC220V 50Hz
爐體結(jié)構(gòu)
配有一對不銹鋼密封法蘭，采用硅膠密封圈密封。
石英管口徑可選：130mm或100mm。
配有2個氧化鋁管堵，使用設(shè)備時應(yīng)放在爐管兩端，保證恒溫區(qū)和法蘭密性。
右端法蘭為KF25接口，用于連接真空泵。
真空度：10-2torr（采用機(jī)械泵）。
安裝有一機(jī)械壓力表，測量范圍為0.1~0.15MPa。
采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，可設(shè)置30段升降溫程序。
帶有超溫和斷偶保護(hù)。
配置可選
可選購5英寸的水冷鉸鏈法蘭，并帶有支撐架
備注：鉸鏈法蘭
可選購數(shù)顯防腐真空計(jì)
可選購石英管堵，提高爐管內(nèi)的潔凈度和幫助獲得高真空
您可能需要在真空端部安裝一個手動擋板閥
可選購鎧裝K型熱電偶，通過法蘭的鎧裝孔伸入到爐管內(nèi)部，測量樣品的實(shí)際溫度
可選購歐陸型溫控儀表，控溫精確度可以提升到±0.1℃
您可以訂購帶真空泵和溫度校準(zhǔn)套件的爐子
可選購MTS02-B控溫?？?，可用電腦設(shè)置和顯示溫度程序
外形尺寸
爐蓋關(guān)閉尺寸：440mm（長）×440(寬)×460(高) mm。
帶法蘭支撐（每個260mm）,總長：960mm(長)×440mm(寬)×460mm（高）。
爐蓋打開尺寸：440mm(長)×440mm（寬）×700mm（高）。
帶法蘭支撐（每個260mm）,總長：960mm（長）×650mm（寬）×700mm（高）。
溫度控制器單位：260mm(長)×350mm（寬）×410mm（高）。
凈重;48Kg。
實(shí)驗(yàn)室參考案例
科晶實(shí)驗(yàn)室用此設(shè)備做出的部分結(jié)果，以供您參考。
以下數(shù)據(jù)針對合肥科晶設(shè)備，不具有普遍性。如果您想了解詳細(xì)試驗(yàn)方法，請聯(lián)系科晶實(shí)驗(yàn)索取詳細(xì)實(shí)驗(yàn)報告。
硅鋼退火
Nb205粉（未處理前）Nb205粉（處理后）
熱處理硅片
備注：以上數(shù)據(jù)僅供參考，更多數(shù)據(jù)請聯(lián)系科晶實(shí)驗(yàn)室
可以吧法蘭對著操作者，作為箱式爐使用。
由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa，使用時會更加精確安全。
當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)。
進(jìn)氣爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。
石英管的長時間使用溫度<1100℃。
警示
不要將裝有溶液的容器放在儀器上，防止造成一起短路。
如需高溫取樣，請務(wù)必穿戴好安全裝置。
爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。
對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，者需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻到泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）。
質(zhì)量認(rèn)證
所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA/ CE認(rèn)證，若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。
質(zhì)保期
一年保修，終身技術(shù)支持。
特別提示：
1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
3.我們享有自主升級改造該爐子構(gòu)造的權(quán)利，努不另外通知。
免責(zé)聲明
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